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KIMBALL PHYSICS EGH-6210 激光設(shè)備技術(shù)參數(shù)

更新時(shí)間:2024-10-24   點(diǎn)擊次數(shù):608次

可聚焦高能電子束,光斑尺寸小至50μm

1keV至60keV

應(yīng)用:

普通真空物理學(xué)
輻射研究
地面轟炸
半導(dǎo)體研究
生物樣本輻射
X射線生成
等離子體激發(fā)
熒光研究
表面物理研究
功能/選項(xiàng):

小斑點(diǎn)尺寸低至50μm
中等電流束至5mA
高電流束至10mA
靜磁聚焦
靜磁束整形(可選)
靜磁偏轉(zhuǎn)
脈沖能力
操作過(guò)程中的內(nèi)部對(duì)齊
差動(dòng)泵
能量范圍:1keV至60keV
束流:10µA至5mA
光斑尺寸:50µm至10 mm
安裝:2.75英寸(2?)CF

Kimball Physics EGH-6210電子槍及其配套的EGPS-6210電源是一個(gè)完整的子系統(tǒng),可以連接到用戶(hù)的真空系統(tǒng)并打開(kāi)。它可以在非常廣泛的能量、電流和功率范圍內(nèi)輸送電子。EGH-6210可用于空間材料測(cè)試、輻射研究、半導(dǎo)體研究、x射線產(chǎn)生和等離子體激發(fā)。

該槍使用單晶六硼化鑭(LaB6)陰極產(chǎn)生高能、可聚焦、小點(diǎn)電子束。束能量和束電流都可以在寬范圍內(nèi)獨(dú)立調(diào)節(jié);能量從1keV到60keV,電流從10μA到5mA。電子束可以通過(guò)控制柵極的輸入信號(hào)進(jìn)行脈沖。
槍的可調(diào)光學(xué)元件可以適應(yīng)不同的發(fā)散和一系列的工作距離,適用于各種應(yīng)用。磁聚焦透鏡的光斑尺寸可以從10毫米到50微米不等。磁性定心和可選的整形線圈提供了額外的束控制,允許用戶(hù)偏轉(zhuǎn)和整形電子束。整形通常會(huì)產(chǎn)生橢圓光束,其兩個(gè)軸都可以獨(dú)立壓縮或延伸。靜磁聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)整形四極桿都能產(chǎn)生低像差的結(jié)果。此外,陰極到陽(yáng)極的間距可以在內(nèi)部調(diào)節(jié),以改變導(dǎo)電性。

該 調(diào)節(jié)的陰極饋通組件,允許點(diǎn)火單元相對(duì)于陽(yáng)極和柱進(jìn)行機(jī)械對(duì)準(zhǔn)。這種對(duì)準(zhǔn)可以在槍打開(kāi)光束的情況下實(shí)時(shí)完成。


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